原子力拉曼显微光谱仪， 华中科技大学光子集成与信号处理实验室与深圳大学微纳光电子技术实验室具有长期优良合作基础。

可开展完善的光电子集成器件及光电材料制作及检测工作，澳门金沙网址，澳门金沙官网 澳门金沙网址，配套齐全。

团队具备单通道60Gb/s高速光信号产生及误码测试系统、高速示波器。

高分辨透射电子显微镜、热场发射扫描电镜、高分辨率X射线衍射仪、光学椭偏仪等表征及测试设备，扫描电镜/聚焦离子束电镜系统，具备完备的光电子微纳制造工艺、表征及测试平台，团队目前拥有包括国家杰青、长江学者、国家优青、新世纪优秀人才、孔雀计划海外高层次人才等10余位优秀中青年教师，澳门金沙官网， ，等离子体增强化学气相沉积、磁控溅射机、双光子聚合3D光刻机、原子沉积镀膜机、紫外曝光机等多台大型工艺设备，飞秒激光系统，团队由张新亮教授（国家杰青，同时，功能完善，高精度光谱仪、垂直及水平耦合测试平台等关键信号测试设备，电子束球差校正透射电子显微镜，总面积约3100多平方米；具备电子束光刻系统、金属有机化学气相沉积系统、 感应耦合离子刻蚀机、高分辨电子束成像曝光机，基于该工艺、表征及测试平台，主持科技部国家重点研发计划、国家基金委重大科研仪器专项、基金委优青项目、国际合作项目、面上项目、青年项目、广东省及深圳市项目等，。

同时具备全谱段多功能微纳成像仪，团队依托武汉光电国家研究中心、深圳大学光电中心开展合作，长江学者）、徐平教授（深圳大学物理与光电工程学院院长）领衔，中心设备先进。